低温PECVD设备（重新招标）招标公告

日 期：2025年 2 月 13 日

招标编号：****

项目名称：低温PECVD设备（重新招标）

****受****委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2025年 2 月 13 日发布招标公告。本次招标采用国际公开招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

1.1 项目概况：全新国产或二手翻新低温PECVD设备1台 。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2. 招标内容

2.1 项目实施地点：**市**区西园南街20号

2.2设备主要功能：

1）利用SiH4-Base在8 英吋硅片上沉积SiN、Oxide、SiON、FSG、LT（低温） SiN和LT（低温）OX等膜层；

2）成膜完成后Wafer表面应无擦伤、无针孔、无气泡、无颗粒掉落、无Peeling、无表观异常等现象。

2.3交货时间：自合同签订后的6个月内设备到货。

3.投标人资格要求

3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

3.2若投标机型为全新，则接受代理商参加投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书；若投标机型为为翻新机，则翻新厂商按制造商身份认定，不得再授权代理商投标，翻新机的投标人需有****工厂。

3.3本次招标不接受转包、分包或联合体投标。

3.4投标人未****公司的黑名单，需提供自我声明；

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

4.招标文件的领购

4.1 招标文件领购开始时间：2025年 2 月 13 日

4.2 招标文件领购结束时间：2025年 2 月 20 日

4.3 招标文件领购地点：**市**区五里店嘉景园B座14-1

4.4 招标文件售价：500人民币/套

5.投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）：2025年 3 月 6 日09：00 分,投标文件递交时间：2025年 3 月6日08：30分－2025年3月 6日09 ：00 分。

5.2 投标文件送达地点：**市**区西园南街20号****会议室

5.3 开标地点：**市**区西园南街20号****会议室

6.发布公告的媒体

本项目公告在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台（www.****.com）”上发布，投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册，中标情况将在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台（www.****.com）”上公布。

7.联系方式

招标人：****

地址：**市**区西园南街20号

联系人：汪思成

电话：156****7617

招标机构：****

地址：**市**区五里店嘉景园B座14-1

联系人：王静、尹奕

电话：023-****5002、186****8091

8.其他补充说明

****银行账户信息：

开户名称：****

银行帐号：6232 8100 1000 0201 014

开户行：****银行****公司****支行

行号：105****06030